半导体芯片制造废水处理设备


半导体芯片制造废水处理设备

     羽杰科技研发生产的真空低温蒸发半导体芯片制造废水处理设备通过主要功能是在真空负压作用下把蒸发沸点降低,使原液加热后在30°沸腾蒸馏,蒸馏出来的蒸汽经过冷凝系统凝结成液态水通过排水系统排出到制定收集桶,根据处理的废水不同浓缩减量出水率可以达到70-95%。通过羽杰科技生产的真空低温蒸发半导体芯片制造废水处理设备浓缩减量处理,处理后的废水满足GB/T 31962-2015中A级标准排放要求,可排放可回用,达到减轻企业废液处理的成本。

羽杰科技芯片废水处理设备

      在半导体制造技术中,通过一系列的光刻、刻蚀、沉积、离子注入、研磨、清洗等工艺形成具有各种功能的半导体芯片,然后将所述半导体芯片进行封装和电性测试,并最终形成终端产品。目前,在半导体芯片的制造过程中,会产生大量的工业废水且芯片制造生产工艺复杂,包括硅片清洗、化学气相沉积、刻蚀等工序反复交叉,生产中使用了大量的化学试剂如HF、H2SO4、NH3・H2O等。所以一般芯片制造废水处理系统有含氨废水处理系统+含氟废水处理系统+CMP研磨废水处理系统

      在现有的废水处理过程中,通常单独使用序列间歇式活性污泥法(SBR)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(BAF),均只能对废水进行单一的处理,例如为过滤或微生物反应或去除毒性等,由于处理方式过于单一,这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。因此,废水处理仍有改善的空间。

     羽杰科技的废水处理设备主要目的在于提供一种芯片生产线的废水处理方法,以解决现有技术存在的处理方式过于单一,这常常导致过滤物质很快堵塞的问题。

      羽杰科技研发生产的真空低温蒸发半导体芯片制造废水处理设备通过主要功能是在真空负压作用下把蒸发沸点降低,使原液加热后在30°沸腾蒸馏,蒸馏出来的蒸汽经过冷凝系统凝结成液态水通过排水系统排出到制定收集桶,根据处理的废水不同浓缩减量出水率可以达到70-95%。通过羽杰科技生产的低温真空蒸发器设备浓缩减量处理,可以减轻企业废液处理的成本。


半导体芯片制造废水处理设备用途:

  1、经济效益方面:能大大节省委外废水的数量和花费,可为企业节省9成的废水处理的委外处理成本;

  2、环保效益方面:使废弃的高浓度有机废水能够多次再生循环利用,羽杰科技低温蒸发器设备废水处理设备还帮您减少了废水对环境的污染和破坏;

  3、公司形象方面:节能环保,不但是部门越来越重视的政策趋势,还能增加客户对公司的认可度,为公司形象加分。

  半导体芯片制造废水处理设备优势

  1、全不锈钢结构,整机和设备部件防爆安全设计,电器采用有防爆资质厂家的防爆电控箱,安全使用。

  2、标准化批量生产,品质有保障,油水分离,省钱省心。

  3、回收流程简单,机器操作便捷,普通员工短期培训,即可安全操作。

  4、超低的机器维护成本,机器性能稳定,耐用,维护简单,耗材少。

  5、多重运行安全保护功能:定时关机功能,机器运行达到预设时长时,则自动停机。回收的高浓度有机废水品质高:色正、清澈、纯净。

  6、超高温保护功能:在设定的温定范围内运行,有效防止加热温度过高;高压保护功能;桶内压力过高时,安全阀将自动泄压,确保安全。

  7、停电保护功能:突然停电时,机器立即自动关机,防止再次供电时机器继续运行。

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  半导体芯片制造废水处理设备使用流程

  1、接通电源,(不包括自动加料装置情况下)打开桶盖,倒入脏溶液,盖紧桶盖,打开电源。

  2、机器加热达到工业废水沸点温度,工业废水受热蒸发而与不可蒸发的杂质分离。

  3、蒸汽工业废水进入到冷凝系统,通过防爆风机散热(也可以选择水冷降温)液化后,干净的处理水,流入废水收集桶。

  4、回收桶内工业废水被蒸干(可控制是否蒸干)后,倾倒入回收桶(可选下排),清理桶内残渣。


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